提升超純水的制備效率必須結合一系列技術。以電阻率為指標監測超純水離子含量非常有效，但其他如有機物這樣的污染物并不適合用電阻率進行監測。這些污染物同樣會顯著地影響實驗能否成功和可靠性4。通過比較不同預處理手段的供水對超純水系統效能的影響，可以很容易的確證這種作用。 

    無論是去離子水還是反滲透和連續電流去離子技術聯用供水，都能讓終端系統產生高電阻率的水，但兩者的終端產水TOC水平顯著不同。在去離子設備中，由于樹脂再生使用，產水的有機污染物水平變化很大。由于這種預處理手段去除有機物效果較差，會引起終端精制系統中陰離子樹脂被有機污染物包被，導致介質過早耗盡，并使終端過濾器堵塞。 

    實驗室用超純水制備系統，強烈建議配備RO（反滲透）/EDI（連續電流去離子技術）作為供水系統，這要優于DI（去離子技術）。這有助于減少供水中TOC（有機碳總量）的變化，并確保恒定的離子濃度和有機物濃度。為了檢查獲得的超純水是否適用于所有實驗室使用，在使用時監測水的TOC水平與電阻率同等重要。